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NEWS INFORMATION用圖片展示來詳細解說低溫泵的結(jié)構(gòu)和工作原理
2021-10-09 低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。它可以獲得抽氣速率最大、極限壓力低的清潔真空,廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。低溫泵的工作原理是利用氣體在超低溫表面發(fā)生物理吸附而達到排氣的效果,是獲得潔凈真空的一種有效、快捷的方法。能夠達到*真空(10-11Pa),有排氣速度快、無油和安裝方向不受限制等優(yōu)點。低溫泵的一級冷臺上,設(shè)置屏蔽罩和擋板,溫度維持在80K。二級冷臺維持在15K,上...

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